美中貿易戰引發台商回流，加上考量產業未來發展需求，科技部估計至2030年，科學園區新增用地需求約600公頃。首波開發將依序鎖定新竹寶山32.72公頃、高雄橋頭185公頃、以及擴建南科台南基地約150公頃三處產業用地，並規畫三年後開發完成到位。
其中，新竹寶山園區現規畫為台積電3奈米研發中心及試量產基地；台南基地擴建，則將作為台積電未來新製程備地之用。
科學園區開發向來是各縣市兵家必爭。執政黨在2018年九合一選舉時承諾要將高雄橋頭新市鎮納入科學園區；2019年立委補選，台南選情激烈，前行政院賴清德在輔選時表態，南科台南基地必須擴建。
針對高雄橋頭新市鎮納入科學園區，行政院已於2019年底核定籌設計畫，內政部營建署辦理變更計畫，並已於2019年10月29日經內政部都市計畫委員會審議通過；緊接著，科技部將啟動環評作業，預計於2020年底提送二階環境影響評估報告書。
至於台南基地，科技部早有擴建的構想，主因為台積電3奈米製程落腳台南後，台南基地已飽和；有鑑於台積電未來更新製程之需要，必須提早備地。科技部現進行可行性評估，預計今年上半年就要提出籌設計畫。
科技部長陳良基表示，目前半導體產業擴廠較積極，用地需求高，因此台南基地擴建、橋頭園區產業進駐都有半導體業，尤其台南基地擴建，更將定位為全世界最先進半導體聚落；陳良基強調，除了半導體業外，像是精密機械、航太、生技，科學園區也都歡迎，希望維持科學園區多元性。
進度最快的是新竹寶山園區，規畫將做為台積電3奈米研發中心及試量產基地，目前已通過環評，竹科管理局長王永壯表示，預計2020年開春動工，力拚2021年完成開發。
陳良基表示，因應如AI、航太、AR/VR、IoT等新興產業發展，並考量群聚效益及開發效益，以及廠商需求，從產值保守估算，至2030年園區土地應逐步擴增600公頃，做為儲備用地。